以光速運(yùn)輸晶圓的同時(shí)保持安全性和性。

感光表面無(wú)污染、動(dòng)作輕柔、笛卡爾工作區(qū)域覆蓋面廣－Festo H型高速門架系統(tǒng)為復(fù)雜的晶圓處理提供了良好的解決方案。

不僅如此，它還是一個(gè)獲獎(jiǎng)?wù)?。該智能高速處理單元因其出色的光伏生產(chǎn)技術(shù)獎(jiǎng)獲得了2010太陽(yáng)能大獎(jiǎng)。 

空氣軸承ATBT是用于搬運(yùn)平板顯示器和光伏基板的產(chǎn)品。

空氣軸承ATBT 特別適用于扁平產(chǎn)品的運(yùn)輸以及傳送領(lǐng)域內(nèi)幾乎任何一種任務(wù)。無(wú)論是裝載和卸載，作為中間緩沖用于提升和定位，用真空保持和夾緊物品，或用于檢測(cè)檢驗(yàn)設(shè)備，的X-Y 軸向運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)或光刻設(shè)備-- 空氣軸承都是運(yùn)輸系統(tǒng)的*選擇。

該系統(tǒng)的關(guān)鍵在于空氣軸承通過(guò)空氣緩沖實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸工作，同時(shí)在靜止?fàn)顟B(tài)，幾乎不消耗任何壓縮空氣。均勻的氣流確保了zui大的精度，并縮短循環(huán)時(shí)間。總的來(lái)說(shuō)，空氣軸承ATBT結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，而且客戶可自定義其長(zhǎng)度。

VUVG是標(biāo)準(zhǔn)閥的新基準(zhǔn)。它*根據(jù)Festo“考慮更全面，樹(shù)立新標(biāo)準(zhǔn)”的原則進(jìn)行研發(fā)，并在流量和尺寸之間尋求到*的平衡點(diǎn)。VUVG以易于安裝為基本原理，包含外加螺絲以及密封件上的附加鎖。由于使用了電源連接件，具有大量的派生型可供選擇，的閥芯密封技術(shù)使VUVG閥持久耐用。

SNEC第五屆（2011）太陽(yáng)能光伏大會(huì)暨FESTO（上海）展覽會(huì)